일렉트론 홀로그래피를 이용한 2차원 도펀트 프로파일링

• Yang, Jun-Mo ;
• Park, Yun-Chang ;
• Hyeon, Mun-Seop ;
• Park, Gyeong-Jin ;
• Hwang, Uk-Jong ;
• Kim, Jung-Jeong (Tohoku University) ;
• Shindo, Daisuke (Tohoku University)

• 양준모 (나노종합팹센터) ;
• 박윤창 (나노종합팹센터) ;
• 현문섭 (나노종합팹센터) ;
• 박경진 (나노종합팹센터) ;
• 황욱중 (나노종합팹센터) ;
• 김중정 ;

• Published : 2005.11.01

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