The microstructure of metal doped conductive carbon coatings

금속원소 도핑된 전도성 카본 박막의 미세구조에 관한 연구

  • 명현식 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센타) ;
  • 이재욱 (한국과학기술원 재료공학과 전자현미경 연구실) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 재료공학과 전자현미경 연구실) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센타)
  • Published : 2005.11.01