한국전자현미경학회:학술대회논문집
- 한국현미경학회 2005년도 제36차 춘계학술대회 및 제3회 HVEM 이용자 워크샵
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- Pages.160-162
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- 2005
TEM의 CBED(Convergent Beam Electron Diffraction)법을 이용한 반도체 소자의Strain 거동 분석
- 이주희 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
- 이덕원 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
- 김원 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
- 김호정 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
- 이순영 (포항공과대학교 신소재공학과) ;
- 서주형 (포항공과대학교 신소재공학과) ;
- 박찬경 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀)
- Lee, Ju-Hui ;
- Lee, Deok-Won ;
- Kim, Won ;
- Kim, Ho-Jeong ;
- Lee, Sun-Yeong ;
- Seo, Ju-Hyeong ;
- Park, Chan-Gyeong
- 발행 : 2005.05.01