대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2005년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- Pages.183-188
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- 2005
LCD 대형기판에서의 pure-Al Hillock특성 및 억제 방법에 대한 연구
A Study on the characteristic & the methods to protect hillock in pure -Al for LCD glass
- 발행 : 2005.11.04
초록
본 논문은 대면적 LCD 기판에서의 hillock 의 특성 및 억제 방법을 제안한다. pure-Al 의 thickness 에 따른 hillock의 발생개수는 감소 하며 size는 증가하는 경향을 나타낸다. 이는 pure-Al 의 grain size가 thickness에 따라 증가하며 즉 grain size가 커질 수 록 발생 hillock의 size는 증가 한다는 것을 알 수 있다. hillock 억제 방안으로 Mo capping을 제안 하며 이에 대한 Modeling 및 효과 파악 결과 pure-Al
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