Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

A Study on the characteristic & the methods to protect hillock in pure -Al for LCD glass

LCD 대형기판에서의 pure-Al Hillock특성 및 억제 방법에 대한 연구

  • 백금주 (성균관 대학교 정보통신 공학부) ;
  • 이준신 (성균관 대학교 정보통신 공학부) ;
  • 정창오 (성균관 대학교 정보통신 공학부) ;
  • 최동욱 (성균관 대학교 정보통신 공학부)
  • Published : 2005.11.04
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Abstract

본 논문은 대면적 LCD 기판에서의 hillock 의 특성 및 억제 방법을 제안한다. pure-Al 의 thickness 에 따른 hillock의 발생개수는 감소 하며 size는 증가하는 경향을 나타낸다. 이는 pure-Al 의 grain size가 thickness에 따라 증가하며 즉 grain size가 커질 수 록 발생 hillock의 size는 증가 한다는 것을 알 수 있다. hillock 억제 방안으로 Mo capping을 제안 하며 이에 대한 Modeling 및 효과 파악 결과 pure-Al $2500{\AA}$에 Mo $500{\AA}$ capping시 pure-Al의 hillock을 억제 한다는 신뢰성 있는 결과를 얻을 수 있었다 이에 대한 이론적 Modeling은 Chaudhari's Model을 modify하여 사용 하였다. 그 외 sputter온도에 따라 hillock 발생 개수가 증가 함을 관찰 하였다.

Keywords