Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2005.11a
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- Pages.116-118
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- 2005
A thermopneumatic-actuated polydimethylsiloxane microfluidic system integrated with micropump and microvalve on the same structure
동일 구조의 마이크로 펌프와 밸브가 직접된 열공압 방식의 PDMS 미세 유체 시스템
- Moon, Min-Chul (Dept. of Electrical Eng, Myongji University) ;
- Yoo, Jong-Chul (Dept. of Electrical Eng, Myongji University) ;
-
Kang, C.J.
(Dept. of Physics, Myongji University)
;
-
Kim, Yong-Sang
(Dept. of Electrical Eng, Myongji University)
- 문민철 (명지대학교 전기공학과 & 나노 바이오 연구소) ;
- 유종철 (명지대학교 전기공학과 & 나노 바이오 연구소) ;
-
강치중
(명지대학교 물리학과 & 나노 바이오 연구소)
;
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김용상
(명지대학교 전기공학과 & 나노 바이오 연구소)
- Published : 2005.11.04
Abstract
열공압 방식으로 동작하는 마이크로 펌프와 밸브가 집적된 (polydimethylsiloxane)PDMS 미 세 유체 시스템을 제작하였다. 본 실험에서 제안한 미세 유체 시스템은 PDMS 마이크로 채널, PDMS membrane, 열공압 챔버, indium tin oxide(ITO) 히터로 구성되어 있다. 마이크로 펌프의 경우 가해주는 펄스 전압의 변화를 통해 유속을 최적화 하였고 마이크로 밸브의 경우 가해주는 직류 전압을 변화시켜 유체의 흐름을 제어할 수 있었다. 미세 유체 시스템의 최적화된 조건은 마이크로 펌프의 경우 duty 4%와 주파수 4Hz에서 최대 pumping rate을 나타냈고 그때의 pumping rate 68nl/min이었다. 마이크로 밸브의 유체를 closing 전력은 450mW이었다.
Keywords