한국신재생에너지학회:학술대회논문집

2005.11a
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Pages.666-666
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2005

Korean Society for New and Renewable Energy (한국신·재생에너지학회)

권호 표지

Preparation of Poly-Si Thin Films with Low Temperature Process

저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘 박막 제작

이중휘 (전북대학교 전자정보공학부 전기공학과) ;
최병정 (전북대학교 전자정보공학부 전기공학과) ;
주병윤 (전북대학교 전자정보공학부 전기공학과) ;
양성채 (전북대학교 전자정보공학부 전기공학과)

Published : 2005.11.11

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Abstract

Keywords

Intense pulsed ion beam evaporation