The Faulty Detection of COG Using Image Subtraction

이미지 정합을 이용한 COG 불량 검출

The CGO (Chip on Glass) to be measured a few micro unit is captured by line scan camera for the accuracy of chip inspection. But it is very sensitive to scan speed and lighting conditions. In this paper, we propose the methods to increase the accuracy of faulty detection by image subtraction. Image subtraction is detected faultiness by subtracting the image of a ' perfect ' COG from trot of the sample under tests. For image subtraction to be successful, the two images must be pre챠sely registered The two images is registered by the area segmentation pattern matching, and the result image get by operating the gradient mask image and the image to practice subtraction. A series of experimentation showed that the proposed algorithm shows substantial improvement over the other image subtraction methods.

수 마이크로 단위로 계측되는 반도체 COG의 정밀도를 높이기 위해서 라인스캔 카메라로 영상을 획득한다. 하지만 불량 검출은 스캔속도와 조명조건에 매우 민감하다. 본 논문에서는 불량이 없는 COG 영상과 입력영상을 정합하여 불량 검출의 정확성을 높이기 위한 방법에 대하여 제안하였다. 두 이미지를 정합시키는 방법으로 영역분할 템플릿 매칭 방법을 사용하였으며 그라디언트 마스크와 AND 연산하여 최종 결과 영상을 획득하였다. 제안된 방법은 다른 이미지 정합 법에 대하여 커다란 성능향상을 보임을 일련의 실험들을 통하여 보여준다.