대한기계학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KSME Conference)
- 대한기계학회 2005년도 창립60주년 기념 추계 학술대회
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- Pages.230.2-230.2
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- 2005
나노임프린트를 위한 기상자기조립단분자 점착방지막 연구
Vaper-Phase Self-Assembled Monolayer for Anti-Stiction in Nanoimprint Lithography
- Noh JungHyun (KIMM) ;
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Lim Hyuneui
(KIMM) ;
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Kim Wan-Doo
(KIMM) ;
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Choi Dae-Geun
(KIMM) ;
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Jeong Jun-Ho
(KIMM) ;
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Lee Eung-Sug
(KIMM)
- 발행 : 2005.11.01