Proceedings of the KSME Conference (대한기계학회:학술대회논문집)

2005.11a
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Pages.131.1-131.1
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2005

The Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회)

권호 표지

Measurement of Mechanical Properties of Mo thin film for Design of RF MEMS Filter

RF MEMS Filter설계를 위한 몰리브덴박막의 기계적 물성 측정

명만식 (고려대 원) ;
김윤재 (고려대) ;
좌성훈 (삼성종합기술원) ;
이창승 (삼성종합기술원) ;
박준협 (동명 정보대)

Published : 2005.11.01

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Abstract

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