대한기계학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KSME Conference)
- 대한기계학회 2005년도 창립60주년 기념 추계 학술대회
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- Pages.26.2-26.2
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- 2005
보호층이 차등 3$\omega$ 기법으로 측정된 유전체 박막의 열전도도에 미치는 영향
Influence of Upper Protective Layer on Measurement of Thermal Conductivity of Thin Dielectric Film Using Differential 3$\omega$ Method
- 발행 : 2005.11.01