한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)

한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
권호 표지

광 도파관 용 실리콘 마스터의 제작

  • 김정훈 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ;
  • 서화일 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ;
  • 정유민 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 조유정 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김종완 ;
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  • Makoto Ishida (Dept. Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technolgy)
  • 발행 : 2005.05.01
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초록

광 도파관 제작을 위한 마스터를 (100), (110) 실리콘 웨이퍼를 이용하여 제작하였다. DRIE와 화학적 습식 식각을 이용하여 사각형 모양의 부드러운 표면을 가진 마스터를 구현하였다. 식각된 패턴의 거칠기는 광 도파관을 제작할 수 있을 정도로 충분히 작았다. 마스터와 광 도파관의 분리를 용이하게 하기 위하여 마스터에 산화막을 형성하고 PFAS를 도포함으로써 HIBRIMERs 광 도파관을 성공적으로 제작할 수 있었다.

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