한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)
한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
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Pages.49-59
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2005
한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
HNB(Hyper-thermal Neutral Beam)을 이용한 박막 증착 장비 개발 현황
임영
발행 : 2005.05.01
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