$Zn_{0.8}Co_{0.2}O$ 박막의 기판 온도 변화에 따른 미세조직 및 자기 특성

Microstructure and Magnetic Properties of Pulsed DC Manetron Sputtered $Zn_{0.8}Co_{0.2}O$ Film with Substrate Temperature

  • 김용성 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ;
  • 강영훈 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ;
  • 김봉석 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ;
  • 태원필 (울산산업진흥테크노파크, 정밀화학센터) ;
  • 김기출 (한국전자통신연구소) ;
  • 서수정 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터)
  • 발행 : 2005.12.01