정보저장시스템학회:학술대회논문집
- 정보저장시스템학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.254-259
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- 2005
차등 3$\omega$ 기법을 이용한 다층 유전체 박막의 열전도도 측정 및 검증
Measurement and Verification of Thermal Conductivity of Multilayer Thin Dielectric Film via Differential 3$\omega$ Method
- 발행 : 2005.10.01
초록
In this study, measurement of thermal conductivity of multilayer thin dielectric film has been conducted via differential 3