정보저장시스템학회:학술대회논문집
- 정보저장시스템학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.22-25
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- 2005
웨이퍼 본딩을 이용한 탐침형 정보 저장장치용 열-압전 켄틸레버 어레이
Thermo-piezoelectric $Si_3N_4$ cantilever array on n CMOS circuit for probe-based data storage using wafer-level transfer method
- 김영식 (LG 전자기술원) ;
- 장성수 (LG 전자기술원) ;
- 이선영 (LG 전자기술원) ;
- 진원혁 (LG 전자기술원) ;
- 조일주 (LG 전자기술원) ;
- 남효진 (LG 전자기술원) ;
- 부종욱 (LG 전자기술원)
- Kim Young-Sik ;
- Nam Hyo-Jin ;
- Lee Caroline Sunyoung ;
- Jin Won-Hyeog ;
- Jang Seong.Soo ;
- Cho Il-Joo ;
- Bu Jong Uk
- 발행 : 2005.10.01
초록
In this research, a wafar-level transfer method of cantilever array on a conventional CMOS circuit has been developed for high density probe-based data storage. The transferred cantilevers were silicon nitride (