대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.2380-2382
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- 2005
3차원 마이크로 인덕터의 제작기술에 관한 연구
A study on the fabrication technology of 3 dimensional micro inductor
- Lee, Eui-Sik (School of Information Technology Engineering, Soonchunhyang University) ;
- Lee, Joo-Hun (School of Information Technology Engineering, Soonchunhyang University) ;
- Lee, Byoung-Wook (School of Information Technology Engineering, Soonchunhyang University) ;
- Kim, Chang-Kyo (School of Information Technology Engineering, Soonchunhyang University)
- 발행 : 2005.07.18
초록
UV-LIGA 공정을 이용하여 3차원 마이크로 인덕터 제작 기술에 관하여 연구하였다. 마이크로 인덕터의 코일, 비아(via), 코어(core)의 Multi-layer 제작을 위해 UV-LIGA 공정을 이용하였으며, 전해도금(electro plating)을 위한 씨올기(seed layer)로서는 e-beam evaporator를 이용하여 금속을 증착하였다. 3차원 마이크로 인덕터의 도금 방법으로는 전해도금을 사용하였으며, 코일과 비아 부분은 구리(Cu) 전해도금, 코어 부분은 니켈(Ni)과 철(Fe)의 합금인 퍼멀로이(Ni/Fe) 전해도금을 하였다. 3차원 마이크로 인덕터의 샘플크기로는 코어의 폭은
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