Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2005.07c
- /
- Pages.1898-1899
- /
- 2005
Micro humidity sensor with poly imide sensitive layer
폴리이미드를 감지막으로 한 마이크로 정전용량형 습도센서
- Shin, P.K. (Dept. Elec. Eng. INHA Univ.) ;
- Cho, K.S. (Yuhan College) ;
- Park, G.B. (Yuhan College) ;
- Yuk, J.H. (Yuhan College) ;
- Park, J.K. (Yuhan College) ;
- Im, H.C. (Daegu Tech. College) ;
- Ji, S.H. (Kyungwon Univ.) ;
- Kim, J.S. (DQAA Korea)
- 신백균 (인하대학교 전자전기공학부) ;
- 조기선 (유한대학 전기과) ;
- 박구범 (유한대학 전기과) ;
- 육재호 (유한대학 전기과) ;
- 박종관 (유한대학 정보통신과) ;
- 임헌찬 (대구공업대학) ;
- 지승한 (경원대학교) ;
- 김진식 (국방품질관리소)
- Published : 2005.07.18
Abstract
반도체 집적회로 공정에서 사용되는 폴리이미드 포토레지스트(P12723, Dupont)를 감습막으로 사용하는 마이크로 습도센서 소자를 제작하였다. 마이크로 습도센서는 실리콘 웨이퍼 기판 위에
Keywords