한국전기화학회:학술대회논문집

한국전기화학회 (The Korean Electrochemical Society)
권호 표지

반응성 스퍼터링 시 Lithium Phosphorous Oxynitride (LiPON) 박막 고체전해질의 특성에 미치는 질소 압력의 영향

Influence of Nitrogen Pressure on the Properties of Lithium Phosphorous Oxynitride (LiPON) Thin Film Solid Electrolyte during Reactive Sputtering

  • 남상철 ((주)누리셀 마이크로셀센터) ;
  • 박호영 ((주)누리셀 마이크로셀센터) ;
  • 임영창 ((주)누리셀 마이크로셀센터) ;
  • 최규길 ((주)누리셀 마이크로셀센터) ;
  • 이기창 ((주)누리셀 마이크로셀센터) ;
  • 박기백 ((주)누리셀 마이크로셀센터) ;
  • 권미연 (국방과학연구소 기술연구본부) ;
  • 조성백 (국방과학연구소 기술연구본부)
  • 발행 : 2005.04.01
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