한국산학기술학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KAIS Fall Conference)
- 한국산학기술학회 2005년도 춘계학술발표논문집
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- Pages.132-135
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- 2005
반도체 제조장비용 챔버의 가스 누출 방지 모듈 개발
A Study of protecting module of chamber gas leakage for semiconductor manufacturing process
- Sul Yong-Tai (Dept of Digtal Display Eng. Hoseo University) ;
- Park Sung-Jin (Dept of Digtal Display Eng. Hoseo University) ;
- Lee Eui-Yong (Advanced Technology Semiconductor Inc.)
- 발행 : 2005.05.01
초록
본 연구에서는 반도체 제조 공정에 이용되는 가스의 흐름을 감지하고 제어하는 장치를 제안하였다 압력센서를 MFC(Mass Flow Controller)에 의해 제어되는 다음 단의 파이널밸브(Final Valve)와 챔버사이의 가스관에 부착시켜, 이 압력센서의 신호와 공압밸브의 동작 신호를 디지털 회로를 이용하여 실시간으로 제어하도록 하였다. 이로써 반도체 제조 공정 중에 발생할 수 있는 2차 소성물로 인한 가스의 흐름 제어와 관련된 시스템 고장을 LED를 통해 실시간으로 확인 가능하다. 또한 가스누출고장발생 시 반도체 제조 공정의 프로세스를 중단시켜 장비의 손상 및 안전사고를 예방하는 기능도 있다. 본 연구에서 개발된 모듈을 이용함으로써 가스밸브의 오동작에 의한 반도체/디스플레이 제조장비의 신뢰성 향상을 기할 수 있다.
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