Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)

The Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회)
권호 표지

Fabrication of High Voltage System for Triode Type Ion Pump

3극형 이온펌프를 위한 고압 시스템 제작

  • Kim Sung-Woon (Dept of electronics engineering, Chungwoon University) ;
  • Han Jae-Chun (Dept of electronics engineering, Chungwoon University) ;
  • Kim Yung-Cho (Dept of electronics engineering, Chungwoon University)
  • 김성운 (청운대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 한재천 (청운대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 김영조 (청운대학교 대학원 전자공학과)
  • Published : 2005.05.01
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Abstract

반도체 및 디스플레이 제조에 필요한 진공펌프의 장$\cdot$단점을 비교하고, 특히 2극형 이온펌프와 3극형 이온펌프의 구조를 비교하였다. 고압시스템과 3극형 이온펌프를 설계, 제작하여 전류-전압 특성을 비교하였다. 고압시스템을 이온펌프에 결합하여 측정한 결과 펌프 내부 저항과 챔버 내의 저항, 그리고 펌프내에서 전자의 방출 등에 따른 이유로 전류의 값이 변화되는 것을 알 수 있었다.

Keywords