Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

수소 플라즈마 처리를 통한 산화아연 나노바늘의 전계방출 특성 향상

  • 유진경 (포항공과대학교 신소재공학과, 창의적 연구진흥사업 반도체 나노막대연구단) ;
  • 박원일 (포항공과대학교 신소재공학과, 창의적 연구진흥사업 반도체 나노막대연구단) ;
  • 이규철 (포항공과대학교 신소재공학과, 창의적 연구진흥사업 반도체 나노막대연구단)
  • Published : 2004.08.19
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