Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

성막 후 N ion implantation 처리에 의한 GZO 박막의 전기적 특성

  • 손종윤 (동의대학교 기초과학연구소) ;
  • 임희섭 (동의대학교 기초과학연구소) ;
  • 김병인 (동의대학교 기초과학연구소) ;
  • 유윤식 (동의대학교 물리학과)
  • Published : 2004.08.19
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Abstract

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