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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
/
Pages.256-256
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2004
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
단결정
$Zn_{l-x}Mg_{x}O$
박막의 RF 마그네트론 스퍼터 성장 및 특성평가
고관홍
(전남대학교 신소재공학부) ;
이병택
(전남대학교 신소재공학부)
Go, Gwan-Hong
;
Lee, Byeong-Taek
발행 : 2004.08.19
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