Crystallinity-damage recovery and optical property in As-doped p-type ZnO induced by ion implantation

  • 정태수 (전북대학교 반도체물성연구센터) ;
  • 김정현 (전북대학교 반도체물성연구센터) ;
  • 한명수 (전북대학교 반도체물성연구센터) ;
  • 윤창주 (전북대학교 반도체물성연구센터)
  • Published : 2004.08.19