Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.08a
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- Pages.236-236
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- 2004
RF 스퍼터링으로 성장한 인(Phospours)이 도핑된 산화아연 박막의 Ar/O$_2$ 비율에 따른 영향
- Yang, Jin-Ho ;
- Kim, Hyeon-Sik ;
- Im, Jae-Hong ;
- Hwang, Dae-Gyu ;
- O, Jin-Yong ;
- Navamathavan, R. ;
- Park, Seong-Ju
- 양진호 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
- 김현식 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
- 임재홍 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
- 황대규 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
- 오진용 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
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- 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과)
- Published : 2004.08.19
Abstract
Keywords