RF 스퍼터링으로 성장한 인(Phospours)이 도핑된 산화아연 박막의 Ar/O$_2$ 비율에 따른 영향

• Yang, Jin-Ho ;
• Kim, Hyeon-Sik ;
• Im, Jae-Hong ;
• Hwang, Dae-Gyu ;
• O, Jin-Yong ;
• Navamathavan, R. ;
• Park, Seong-Ju

• 양진호 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
• 김현식 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
• 임재홍 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
• 황대규 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
• 오진용 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
• ;
• 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과)

• Published : 2004.08.19

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