Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구

  • 인정환 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 정민재 (성균관대학교 금속재료공학부) ;
  • 장홍영 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 한전건 (한국과학기술원 물리학과)
  • Published : 2004.08.19
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