Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

헬륨 이온의 Sputtering에 의해 형성된 Cubic Boron Nitride 박막의 압축응력의 변화

  • 이은옥 (고려대학교 재료공학과, 한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
  • 박종극 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
  • 임대순 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 백영준 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부)
  • Published : 2004.08.19
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Abstract

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