02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2004.08a
/
Pages.212-212
/
2004
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Gas 유량 제어에 의한 CVD Diamond의 특성에 관한 연구
Han, Jin-Yeong
;
Jeong, Gi-Man
;
Kim, Tae-Gyu
;
Kim, Hye-Seong
한진영
(밀양대학교 신소재공학과) ;
정기만
(밀양대학교 신소재공학과) ;
김태규
(밀양대학교 신소재공학과) ;
김혜성
(밀양대학교 신소재공학과)
Published : 2004.08.19
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