02)567-9486
English
한국어
English
The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2004.08a
/
Pages.209-209
/
2004
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
금속증기의 증착 공정 실시간 모니터링에 관한 연구
Jeong, Ui-Chang
;
Song, Gyu-Seok
;
Cha, Hyeong-Gi
정의창
(한국원자력연구소 양자광학기술개발부) ;
송규석
(한국원자력연구소 양자광학기술개발부) ;
차형기
(한국원자력연구소 양자광학기술개발부)
Published : 2004.08.19
PDF
Download PDF
〈 Previous
Next 〉
Abstract
Keywords
Detail Search
×
Title, Summary, Keyword
Publications
Publication Year
Volume
Issue
Page
Author
Affiliation
Publisher
DOI
Publication Type
Journal
Conference Proceeding Paper
Magazine