한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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- Pages.162-162
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- 2004
Atomic layer deposition of high-k dielectric lanthanum oxide($La_{2}O_{3}$ ) thin films on $SiO_2/Si(100)$ Substrate
- 발행 : 2004.08.19