Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Atomic layer deposition of high-k dielectric lanthanum oxide($La_{2}O_{3}$) thin films on $SiO_2/Si(100)$ Substrate

  • 조상진 (고려대학교 화공생명공학과) ;
  • 박남균 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 하정숙 (고려대학교 화공생명공학과) ;
  • 김병호 (고려대학교 재료공학과)
  • Published : 2004.08.19
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Abstract

Keywords