Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

전자빔 리소그래피에 의한 박막 버클링 형상의 제어 및 그 응용

  • 문명운 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 미래기술연구센터) ;
  • 이제현 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김태영 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 오규환 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 2004.08.19
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