02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2004.08a
/
Pages.155-155
/
2004
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Filtered vacuum arc 공정에 있어서 아르곤 가스에 의한 tetrahedral amorphous carbon 박막의 구조 조절
Kim, Tae-Yeong
;
Lee, Cheol-Seung
;
Lee, Gwang-Ryeol
;
Han, Jun-Hui
;
O, Gyu-Hwan
김태영
(한국과학기술연구원 미래기술연구본부, 서울대학교 재료공학부) ;
이철승
(한국전자부품연구원) ;
이광렬
(한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
한준희
(한국표준과학연구원) ;
오규환
(서울대학교 재료공학부)
Published : 2004.08.19
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