Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2004.08a
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Pages.151-151
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2004

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 $Al_{2}O_{3}$와 $ZrO_2$ 박막의 증착 및 특성 연구

윤선진 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 플렉시블소자팀) ;
임정욱 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 플렉시블소자팀) ;
이진호 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 플렉시블소자팀)

Published : 2004.08.19

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