한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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- Pages.147-147
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- 2004
ALD growth of $HfO_2$ thin films using Hf(mp)$_4$ and water
- 조원태 (한국화학연구원 박막재료연구실, 성균관대학교 물리학과) ;
- 장홍석 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 양택승 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 안기석 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 정택모 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 김창균 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 김윤수 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 김성문 (홍익대학교 신소재공학과) ;
- 황진하 (홍익대학교 신소재공학과) ;
- 정동근 (홍익대학교 신소재공학과)
- Jo, Won-Tae ;
- Jang, Hong-Seok ;
- Yang, Taek-Seung ;
- An, Gi-Seok ;
- Jeong, Taek-Mo ;
- Kim, Chang-Gyun ;
- Kim, Yun-Su ;
- Kim, Seong-Mun ;
- Hwang, Jin-Ha ;
- Jeong, Dong-Geun
- 발행 : 2004.08.19