Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Cluster tool system을 이용한 비정질/나노결정 실리콘 하이브리드 박막 태양전지 동작특성

  • 이정철 (한국에너지기술연구원, 태양전지연구센타) ;
  • 윤재호 (한국에너지기술연구원, 태양전지연구센타) ;
  • 김석기 (한국에너지기술연구원, 태양전지연구센타) ;
  • 송진수 (한국에너지기술연구원, 태양전지연구센타) ;
  • 윤경훈 (한국에너지기술연구원, 태양전지연구센타)
  • Published : 2004.08.19
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Abstract

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