이온화 집단체 증착 방법을 이용한 ZnO/Si(111) 박막의 결정성

  • 장문형 (연세대학교 물리 및 응용물리 사업단) ;
  • 최윤기 (연세대학교 물리 및 응용물리 사업단) ;
  • 장홍규 (연세대학교 물리 및 응용물리 사업단) ;
  • 황정남 (연세대학교 물리 및 응용물리 사업단)
  • Published : 2004.08.19