한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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- Pages.125-125
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- 2004
Preparation of $HfO_2$ thin films by MOCVD using the novel single precursor, $Hf(mp)_4$
- 양택승 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
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이은주
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 장홍석 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
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안기석
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
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정택모
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
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김창균
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
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김윤수
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 김성문 (홍익대학교 신소재공학과) ;
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황진하
(홍익대학교 신소재공학과)
- Yang, Taek-Seung ;
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Lee, Eun-Ju
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- Jang, Hong-Seok ;
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An, Gi-Seok
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Jeong, Taek-Mo
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Kim, Chang-Gyun
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Kim, Yun-Su
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- Kim, Seong-Mun ;
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Hwang, Jin-Ha
- 발행 : 2004.08.19