Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.08a
- /
- Pages.125-125
- /
- 2004
Preparation of $HfO_2$ thin films by MOCVD using the novel single precursor, $Hf(mp)_4$
- Yang, Taek-Seung ;
-
Lee, Eun-Ju
;
- Jang, Hong-Seok ;
-
An, Gi-Seok
;
-
Jeong, Taek-Mo
;
-
Kim, Chang-Gyun
;
-
Kim, Yun-Su
;
- Kim, Seong-Mun ;
-
Hwang, Jin-Ha
- 양택승 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
-
이은주
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 장홍석 (한국화학연구원 박막재료연구실) ;
-
안기석
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
-
정택모
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
-
김창균
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
-
김윤수
(한국화학연구원 박막재료연구실) ;
- 김성문 (홍익대학교 신소재공학과) ;
-
황진하
(홍익대학교 신소재공학과)
- Published : 2004.08.19
Abstract
Keywords