02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2004.08a
/
Pages.119-119
/
2004
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
양성자 주입된 실리콘 반도체소자내의 깊은준위 결함분석
Kim, Jae-Hun
;
Kim, Eun-Gyu
;
Bae, Yeong-Ho
김재훈
(한양대학교 물리학과) ;
김은규
(한양대학교 물리학과) ;
배영호
(위덕대학교 정보통신공학부)
Published : 2004.08.19
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