한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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- Pages.108-108
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- 2004
저온 물리 흡착된 희가스의 ESD 실험장치
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Hong, Seung-Su
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Im, In-Tae
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- Jeong, Gwang-Hwa ;
- Shoaib, M. (PVS) ;
- Arakawa, I. (Gakushuin University)
- 발행 : 2004.08.19