Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2004.08a
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Pages.108-108
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2004

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

저온 물리 흡착된 희가스의 ESD 실험장치

Hong, Seung-Su ;
Im, In-Tae ;
Jeong, Gwang-Hwa ;
Shoaib, M. (PVS) ;
Arakawa, I. (Gakushuin University)

홍승수 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
임인태 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
정광화 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
;

Published : 2004.08.19

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