Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.08a
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- Pages.66-67
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- 2004
SOI를 이용한 Non-classical Nano-CMOS 소자 기술
- Jo, Won-Ju ;
- An, Chang-Geun ;
- Im, Gi-Ju ;
- Yang, Jong-Heon ;
- Baek, In-Bok ;
- Lee, Seong-Jae ;
- Park, Gyeong-Wan
- 조원주 (한국전자통신연구원 미래기술연구본부 나노전자소자팀) ;
- 안창근 (한국전자통신연구원 미래기술연구본부 나노전자소자팀) ;
- 임기주 (한국전자통신연구원 미래기술연구본부 나노전자소자팀) ;
- 양종헌 (한국전자통신연구원 미래기술연구본부 나노전자소자팀) ;
- 백인복 (한국전자통신연구원 미래기술연구본부 나노전자소자팀) ;
- 이성재 (한국전자통신연구원 미래기술연구본부 나노전자소자팀) ;
- 박경완 (서울시립대학교 나노과학기술학과)
- Published : 2004.08.19
Abstract
Keywords