솔레노이드 코일을 부착한 Arc Ion Plating System을 이용하여 합성된 WC 박막의 성장거동 및 미세구조에 관한 연구

• 이호영 (성균관대학교 응용플라즈마연구센터) ;
• 정우성 (성균관대학교 응용플라즈마연구센터) ;
• 한전건 (성균관대학교 응용플라즈마연구센터) ;
• 김진호 ((주)맥스플라즈마) ;
• 배은현 ((주)맥스플라즈마)

• Lee, Ho-Yeong ;
• Jeong, U-Seong ;
• Han, Jeon-Geon ;
• Kim, Jin-Ho ;
• Bae, Eun-Hyeon

• 발행 : 2004.02.11

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