PES 기판위에 Sputter 증착된 비정질 실리콘 박막 특성

• Kim, Yong-Hae ;
• Kim, Dong-Il ;
• Son, Chung-Yong ;
• Jeong, Jung-Hui ;
• Go, Yeong-Uk ;
• Im, Jeong-Uk ;
• Yun, Seon-Jin ;
• Lee, Jin-Ho

• 김용해 (한국전자통신연구원 플렉시블소자팀) ;
• 김동일 (한국전자통신연구원 플렉시블소자팀) ;
• 손충용 (한국전자통신연구원 플렉시블소자팀) ;
• 정중희 (한국전자통신연구원 플렉시블소자팀) ;
• 고영욱 (한국전자통신연구원 플렉시블소자팀) ;
• 임정욱 (한국전자통신연구원 플렉시블소자팀) ;
• 윤선진 (한국전자통신연구원 플렉시블소자팀) ;
• 이진호 (한국전자통신연구원 플렉시블소자팀)

• Published : 2004.02.11

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