Liquid Delivery MOCVD 법을 이용한 RuOx 박막 제조 및 특성평가

  • 김남수 (충북대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 김경원 (하이닉스반도체 메모리연구소)
  • 발행 : 2004.02.11