한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

RF Magnetron Sputter법으로 성장된 Znl-xMnxO 박막의 Rapid Thermal Annealing 효과

  • 이혜성 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 이세준 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 김화목 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 강태원 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 김득영 (동국대학교 양자기능반도체연구센터)
  • 발행 : 2004.02.11
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