Growth of High-Quality HVPE-GaN Thick Film with V/III ratios

  • 류성룡 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 김화목 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 이호상 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 김석일 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 오충석 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 김두수 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 김득영 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 강태원 (동국대학교 양자기능반도체연구센터) ;
  • 이해익 (우석대학교 반도체과학과) ;
  • 우용득 (우석대학교 반도체과학과)
  • 발행 : 2004.02.11